真空滲碳一般過程是:零件清洗一零件裝料、進爐—抽真空—升溫及均熱——滲碳與擴散一熱處理。

（1）滲碳劑：常用丙烷、甲烷、乙炔氣，或天然氣等做滲碳劑，純度(體積分數(shù))大于96%。為防止產(chǎn)生炭黑適當通人稀釋氣體(如N2、H2等)。

（2）滲碳氣流量與滲碳壓力：滲碳氣的流量以能使爐內(nèi)壓力的增加為133.33Pa/s為宜。在用甲烷作滲碳氣，爐壓控制在26.6~45kPa。以丙烷作滲碳氣，爐壓為13.3~23kPa。滲碳氣壓力越高，滲碳越快，滲碳層越均勻。但往往產(chǎn)生炭黑也多。在保證滲碳層均勻前提下，盡量選用低的滲碳壓力，以減少炭黑的產(chǎn)生。如采用脈沖式通氣滲碳時，爐氣壓力控制在20kPa左右，可不開風扇攪拌。

（3）滲碳溫度：滲碳溫度對滲碳速度的影響最為明顯，溫度越高，擴散系數(shù)越大，滲速越快。如碳在鐵中的擴散系數(shù)，當溫度自925℃升至1100℃時，會增加七倍以上。真空滲碳時碳在r-Fe中擴散激活能Q為24kcal/mol,

而氣體滲碳Q為36kcal/mol,所以真空滲碳過程比氣體滲碳過程要快。一般滲碳溫度在920~1080℃之間。

（4）滲碳時間：滲碳時間根據(jù)滲碳溫度和滲碳層深度要求確定。