1、真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調。
2、升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱
3、升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。
4、冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。
5、真空爐活動連接部分全部采用O型橡膠圈密封連接，此部分均通水冷卻。
6、茶山熱處理真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規(guī)處理時加熱溫度相同。
7、工件在真空狀態(tài)下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
8、真空爐的保養(yǎng)應在真空或充純氮狀態(tài)下，避免平時不用時吸氣，吸潮。
9、茶山熱處理國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h ，國外某些企業(yè)的標準為0.67Pa/h