真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)，真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的，真空熱處理可以實(shí)現(xiàn)幾乎所有的常規(guī)熱處理所能涉及的熱處理工藝。

   將金屬工件在 1個(gè)大氣壓以下(即負(fù)壓下)加熱的金屬熱處理工藝。20世紀(jì)20年代末﹐隨著電真空技術(shù)的發(fā)展﹐出現(xiàn)了真空熱處理工藝﹐當(dāng)時(shí)還僅用於退火和脫氣。由於設(shè)備的限制﹐這種工藝較長(zhǎng)時(shí)間未能獲得大的進(jìn)展。60～70年代﹐陸續(xù)研製成功氣冷式真空熱處理爐﹑冷壁真空油淬爐和真空加熱高壓氣淬爐等﹐使真空熱處理工藝得到了新的發(fā)展。在真空中進(jìn)行滲碳﹐在真空中等離子場(chǎng)的作用下進(jìn)行滲碳﹑滲氮或滲其他元素的技術(shù)進(jìn)展﹐又使真空熱處理進(jìn)一步擴(kuò)大了應(yīng)用范圍。 
    特點(diǎn) 金屬零件在真空中的熱處理能防止氧化脫碳并具有脫氣效應(yīng)﹐但金屬元素可能蒸發(fā)。 
    防止氧化脫碳 真空熱處理爐的加熱室在工作時(shí)處?kù)督咏婵諣顟B(tài)﹐僅存在微量一氧化碳和氫氣等﹐它們對(duì)於加熱的金屬是還原性的﹐不發(fā)生氧化脫碳的反應(yīng)﹔同時(shí)還能使已形成的氧化膜還原﹐因此加熱后的金屬工件表面可以保持原來(lái)的金屬光澤和良好的表面性能。 
      脫氣效應(yīng) 金屬零件在真空環(huán)境中加熱時(shí)﹐金屬中的有害氣體﹐例如鈦合金中的氫和氧﹐會(huì)在高溫下逸出﹐有利於提高金屬的機(jī)械性能。 
      金屬元素蒸發(fā) 各種元素都有自身的蒸氣壓﹐如果環(huán)境中的壓力低於某種元素的蒸氣壓﹐這種元素就會(huì)蒸發(fā)。在真空熱處理時(shí)﹐應(yīng)根據(jù)鋼中所含合金元素的蒸氣壓來(lái)選擇加熱時(shí)的真空度或溫度﹐以避免合金元素蒸發(fā)。 
      工藝 真空熱處理可用於退火﹑脫氣﹑固溶熱處理﹑淬火﹑回火和沉淀硬化等工藝。在通入適當(dāng)介質(zhì)后﹐也可用於化學(xué)熱處理。 
      真空中的退火﹑脫氣﹑固溶處理主要用於純凈程度或表面質(zhì)量要求高的工件﹐如難熔金屬的軟化和去應(yīng)力﹑不銹鋼和鎳基合金的固溶處理﹑鈦和鈦合金的脫氣處理﹑軟磁合金改善導(dǎo)磁率和矯頑力的退火﹐以及要求光亮的碳鋼﹑低合金鋼和銅等的光亮退火。真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬即將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進(jìn)行冷卻。適用於氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的材料。液淬是將工件在加熱室中加熱后﹐移至冷卻室中充入高純氮?dú)獠⒘⒓此腿氪慊鹩筒郓o快速冷卻。如果需要高的表面質(zhì)量﹐工件真空淬火和固溶熱處理后的回火和沉淀硬化仍應(yīng)在真空爐中進(jìn)行。